SEMI F21洁净室空气分子污染（AMC）分析

实验室配备高端洁净室、高端分析仪器和全套在线检测设备，引进世界先进检测经验和系统，以及资深采样和检测工程师，能够提供洁净室空降分子污染（AMC）分析服务，确保洁净室制程车间没有污染，提升产品的生产良率。

背景资料

AMC系指-环境中有能力沈降于表面上形成单分子层（monolayer）薄膜之气态化学污染物质。因半导体晶圆越微小化、平面显示器尺寸巨大化，制程产品正面临微量污染物严重威胁，对于无尘室生产环境的洁净度要求也越来越严谨及重要。现今AMC的污染浓度虽未与目前的洁净室等级形成直接关系，但AMC的存在确实对制程有严重的影响。

AMC常见来源：
制程中使用的化学品，造成化学滤网效率降低或释出
邻近工厂使用含硫有机溶剂排放之有机硫化物
石化制程排放之挥发性有机物及其光化学反应物质
大气中硫氧化物，氮氧化物
洁净室部分建材、机具、器材等相关物品所挥发之VOCs

AMC种类：


服务内容

1. MA、MB：酸性与碱性空降分子污染采样与分析
2. MC：可沉降物质及有机气体分子采样与分析
3. MD：参杂性空降分子污染采样与分析
4. MM：金属空降分子污染采样与分析
5. S硫化物分子污染采样与分析
6. 高效滤网及化学滤网过滤效率分析
7. AMC污染解决方案

测试方法：
● 客户现场采集分析
客户没有现场采样设备及采样经验，可以委托工程师到现场进行采样与分析，工程师到客户现场进行采样可以避免采样过程的失误与污染。

● 客户自行样品采集后委托分析
如客户希望自行采样，实验室可协助客户建立采样能力，以达到时间与成本的优化。