ISO 14644-14无尘室等级适用性

实验室提供各式机具与设备进行模拟在洁净室内实际运作状态下，进行发尘量测试，按照ISO 14644-14标准评估其机具设备适用洁净室之等级，协助各家厂商进行无尘动态模拟发尘量测试。

背景资料

目前，半导体产业随着制程的精进已经发展到纳米级水平，也就是说只要一颗微尘粒子掉落在制程或线路中就有可能导致整批产品异常或报废，因此这些作业需要在洁净室内进行。不同制程对应不同等级的洁净室，不同的产业相对也会有不同等级的洁净室需求。设置洁净室的目的是为了能避免微尘粒子影响到产品。

随着产能的增加以及对出货的速度要求，自动化设备变成了一种趋势，不但广泛的应用在各种产业，多半都放在洁净室内且有可能会与产品近距离接触，如机械手臂、自动搬运车、线性滑轨、模块自动夹爪等因过热和摩擦而产生灰尘，或因使用后而产生的静电效应造成微粒子吸附现象，这些微尘粒子就会直接污染产品，影响产品的良率。
为了避免设备运作产生发尘污染产品，需根据14644-14对进入洁净室的各类机具设备进行其发尘量的等级评估。

服务内容

定制化模拟试验
1. 测试环境符合比使用设备的洁净室或洁净区至少高一个ISO N级（参照ISO14644-1等级）。
2. 气流速度垂直速度的指导范围符合在3m/s至0.5m/s的范围内。
3. 温度执行范围符合18°C至25°C内。
4. 湿度执行范围符合30%RH至70%RH。
5. 评估高颗粒浓度的测量位置。
6. 评估哪些位置需要测量。