超纯气体测试
超净高纯气体主要用于制备半导体器件、化合物半导体等，因此，其金属杂质，阴、阳离子,颗粒物的数值都会直接影响集成电路产品质量。
服务内容
检测依据：ISO8573
分类 | 服务范围 |
金属杂质 | 金属元素：锂、硼、钴、砷、银、钨、钠、钾、镁、钙、铁、锌、铜、铬、镍、铅、锰、铝、锑等 |
阴阳离子杂质 | 阴离子：SO42-,NO2-,PO43-,F-,Cl-,Br-,I-, 阳离子：NH4+,Li+,Na+,K+,Ca2+,Mg2+ |
有机污染物 | 挥发性有机物 颗粒：颗粒粒径0.1–1um 油分 露点 |
检测方式
●客户现场在线检测：颗粒、油分、露点
●采样寄检：专项采样瓶，全程冷链运输
渝公网安备 50010802002732号
