超纯水测试

实验室配备高端洁净室、高端分析仪器、超高纯度规格的纯水系统和全套在线检测设备，引进世界先进检测经验和系统，以及资深采样和检测工程师，能够针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务，以确保您的超纯水"超纯"，真正达到超洁净度要求。

背景资料

超纯水（UPW）在半导体制作工艺中，其主要用于湿化学稀释、晶圆清洁和浸没式光刻操作。在50%以上的工序需要晶圆与超纯水（UPW）直接接触，80%以上的工序需要进行化学处理，而化学处理又与超纯水（UPW）有关，水中的杂质会进入晶圆，如果带入过量的杂质，就会导致器件性能下降，影响产品性能。因此，制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技术。

纯水&超纯水杂质分类

在半导体生产过程中，各种产品对水的纯度要求各不相同，通常将纯水分为纯水和超纯水两种。超纯水要求所含的悬浮颗粒直径在0.45微米以下，细菌数为0～10个/毫升，25℃时电阻率在10兆欧•厘米以上。在国标GB/T 11446电子级水的技术指标颗粒直径控制甚至比0.1微米更小，25℃时电阻率在18兆欧•厘米以上，I级与II级的杂质要求都是ppt等级。

纯水和超纯水的杂质主要分为三类：

杂质要求达到ppt等级时，电导率不再是可以表征超纯水中杂质，特别是金属杂质和阴阳离子杂质的有效手段。只有通过用先进的分析仪器来测定金属和离子的真实含量，才能了解超纯水的真实质量。

服务内容

和一般的测试不同，超纯水对测试系统的要求非常高，包括采样环境、采样设备、人员的经验和样品运输，以及测试的时效性都是影响超纯水测试结果的重要因素；因此有两种采样方式供客户选择：
（1）实验室提供经验证的干净采样瓶供客户免费使用，同时提供采样指引，由客户采集样品并寄送样品到我司实验室进行分析，此种是我司推荐的最佳服务方式，既保证测试结果又节省费用支出。
（2）客户使用自己的采样瓶并采集样品寄到我司实验室进行分析，采用这种方式可兼顾客户对样品瓶的验证。

测试方式
● 客户现场在线测试：总有机碳（TOC）测试、微粒子（Particle）测试、电导率测试、溶氧测试，细菌采集等。
● 实验室测试：金属含量、二氧化硅、阴阳离子；总有机碳（TOC）、微粒子（Particle）、菌落总数、电导率、pH值；碳酸根CO₃²-、溶氧、可溶解硅等。